Number: 5387763
Country: France
Source: TED
Piste d’étalement et de développement de résine pour immersion 300 mm
Le CEA/LETI recherche pour ses programmes un nouvel équipement d’étalement de résines et de développement.
L’équipement devra être interfacé avec un scanner de lithographie à 193 nanomètre en immersion.
L’équipement devra être capable de traiter des plaques de 300 millimètres de diamètre. Il sera installé dans la salle blanche du CEA/LETI et sera utilisé 7 jours/7 et 24 heures/24.
CEA Grenoble — Conditions d’accès réglementées.
Le CEA/LETI recherche pour ses programmes un nouvel équipement d’étalement de résines et de développement.L’équipement devra être interfacé avec un scanner de lithographie à 193 nanomètre en immersion.L’équipement devra être capable de traiter des plaques de 300 millimètres de diamètre. Il sera installé dans la salle blanche du CEA/LETI et sera utilisé 7 jours/7 et 24 heures/24.
Un certain nombre d’options sont décrites dans le dossier de consultation.
Il a été indiqué 1 à la rubrique « montant » uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l"avis d"attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix des fournitures sans violer le secret des affaires.