Microelectronic machinery and apparatus and microsystems (№11121360)

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Publication date

Description

1. Section I
   1. Name and addresses
      CEA/Grenoble
      17 rue des Martyrs
      Grenoble Cedex 9
      38054
      France
      Telephone: +33 438789943
      E-mail: [email protected]
      Fax: +33 438785060
      
   2. Type of the contracting authority:
      Body governed by public law
      
   3. Main activity:
      Other activity: Recherche
      
2. Section II
   1. Scope of the procurement:
      1. Title:
         

         Système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques («cluster diélectrique 300 mm»).

         Reference number: PCN-170686-CMF
         
      2. Main CPV code:
         31712000
         
      3. Type of contract:
         Supplies
         
      4. Short description:
         

         Le CEA-LETI recherche un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L"équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450ºC.

         Il sera installé dans les salles blanches microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.

      5. Information about lots:
         This contract is divided into lots: no
      6. Total value of the procurement:
         Value excluding VAT: 1.00 EUR
   2. Description
      1. Title:
         
      2. Additional CPV code(s):
         
         
      3. Place of performance:
         Main site or place of performance:

         CEA Grenoble — conditions d"accès réglementées.

      4. Description of the procurement:
         

         Système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques (SiO2, SiN, aSi, …) pour le traitement de plaques de 300 mm de diamètre. L"équipement devra être entièrement automatique et les réacteurs devront pouvoir travailler entre 100 et 450ºC.

         Il sera installé dans les salles blanches microélectroniques du CEA-LETI où il sera utilisé 7 jours sur 7 et 24 heures sur 24.

      5. Award criteria:
         Quality criterion - Name: Qualité technique de l"offre / Weighting: 45
         Quality criterion - Name: Délais / Weighting: 5
         Price - Weighting: 50
         
      6. Information about options:
         Options: no
      7. Information about European Union funds:
         The procurement is related to a project and/or programme financed by European Union funds: no
      8. Additional information:
         

         — la procédure concurrentielle avec négociation PCN-170686-CMF fait suite à l"appel d"offres ouvert référencé AOO-170571-CMF déclaré infructueux,

         — Il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l"avis d"attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l"équipement sans violer le secret des affaires.

3. Section IV
   1. Description:
      1. Type of procedure:
         Competitive procedure with negotiation
      2. Information about a framework agreement or a dynamic purchasing system:
         
      3. Information about electronic auction:
         
      4. Information about the Government Procurement Agreement (GPA):
         The procurement is covered by the Government Procurement Agreement: yes
   2. Administrative information:
      1. Previous publication concerning this procedure:
         Notice number in the OJ S: 2017/S 151-312403
         
      2. Information about termination of dynamic purchasing system:
         
      3. Information about termination of call for competition in the form of a prior information notice:
         
4. Section V
   1. Contract No: 4000801602 / P7T30
      Title:

      Fourniture d’un système multi-réacteurs de dépôts PECVD de matériaux diélectriques

   2. Award of contract
      1. Date of conclusion of the contract: 2018-10-02
         
      2. Information about tenders:
         Number of tenders received: 2
         Number of tenders received from tenderers from other EU Member States: 2
         Number of tenders received by electronic means: 0
         The contract has been awarded to a group of economic operators: no
      3. Name and address of the contractor:
         Applied Materials South East Asia Pte Ltd
         Singapour
         Singapore
         The contractor is an SME: no
      4. Information on value of the contract/lot (excluding VAT):
         
         Total value of the contract/lot: 1.00 EUR
         
      5. Information about subcontracting:
         
         
5. Section VI
   1. Additional information
      

      — la procédure concurrentielle avec négociation PCN-170686-CMF fait suite à l"appel d"offres ouvert référencé AOO-170571-CMF déclaré infructueux,

      — Il a été indiqué 1.00 à la rubrique «montant» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l"avis d"attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix de l"équipement sans violer le secret des affaires.

   2. Procedures for review
      1. Review body
         Tribunal administratif de Grenoble
         2 place de Verdun
         Grenoble
         38000
         France
         Telephone: +33 476429000
         E-mail: [email protected]
         Fax: +33 476422269
         
      2. Body responsible for mediation procedures
         
         
      3. Service from which information about the review procedure may be obtained
         Tribunal administratif de Grenoble
         2 place de Verdun
         Grenoble
         38000
         France
         Telephone: +33 476429000
         E-mail: [email protected]
         Fax: +33 476422269
         
   3. Date of dispatch of this notice
      2018-11-15